第2255章
但现在看来,他们还是有些小瞧这种高精度的光刻机了。
这让自信满满的他们,遭受了不小的打击。
项目刚进展不久,就遇到了第一个重大瓶颈,指挥部里的气氛有些凝重。
如果光源问题无法解决,后续的所有工作都无从谈起。
李阳静静地听着汇报,翻看着失败的实验数据和损伤元件的照片。
他没有指责,而是陷入了沉思。
良久,他抬起头,目光扫过在场的专家。
“我们是不是陷入了一个思维定式?”
他缓缓开口。
“为什么一定要完全沿着ASML走过的路再走一遍?”
“他们用LPP成功了,不代表这是唯一的路径,也不一定是最适合我们基础的路径。”
他走到白板前,画下了几个简单的示意图。
“我们最大的优势是什么?”
“是我们在大型尖端工程装置上积累的经验,尤其是对高温等离子体的理解和控制能力。”