顾松乐呵呵地说道:“里面写得很详细了,照这个思路一步步推进。遇到难关了再找我。”
廖青山狐疑地走到一旁,从自己背包里把笔记本拿出来。
一步步推进?
他打开u盘,先没管里面的芯片设计资料,点开写着“工艺思路”的那个文件夹。
密密麻麻的,还有编号。
1、硅片脱水烘焙时间建议范围……
2、hds蒸汽淀积,温度建议……时间建议……
3、光刻胶选择建议,动态涂胶,转速建议……
……
他越看嘴越大。
要是倪光北和林耀东在这里,就会问一句:“刺激吧?”
原来这就是所谓工艺攻关吗?
他大概知道后面都是些什么内容了,先收起笔记本拔下u盘,走回去问正在和牛俊明商量的顾松:“这么详细,你们实验室里已经有初步验证的?有效吗?”
顾松想了想点点头:“先照这样试试吧。回头把数据记录好再交给我分析分析。”
廖青山也没别的想法,他已经听章儒京说了顾松的“壮举”。手上有了方案,他就拉着章儒京过去准备流片的事。
顾松继续投入地跟牛俊明说道:“先看超纯水和气泡消除这一块吧,牛总你那边看这两个问题能不能准备着。物镜和浸润设备的设计方案,我得回去研究一下,再看精度要求具体要到什么参数。”